Kristallzüchtung

Verbesserung der Kristallqualität durch präzise Temperaturmessung

Unsere fortschrittlichen Temperaturmesslösungen, darunter Enclad®-Thermoelemente und EXACTUS®-Optische Pyrometer, bieten eine beispiellose Präzision bei Kristallzüchtungsprozessen und gewährleisten eine gleichbleibende Qualität und Effizienz.

Präzision, die kristallklare Perfektion ermöglicht

ISO-17025 für erstklassige Kalibrierung

Unser Standort in Fremont, Kalifornien, ist nach ISO 17025 für die Kalibrierung von Thermoelementen bis zu 1500 °C zertifiziert.

Maßgeschneiderte Lösungen

Wir passen unsere Sensorsysteme exakt an die spezifischen Ofenumgebungen und Kundenanforderungen an.

Verlängerte Lebensdauer

Unser firmeneigener Fibro®-Platindraht verlängert die Lebensdauer von Thermoelementen um bis zu 80 % und senkt so die Wartungs- und Betriebskosten.

Berührungslose Genauigkeit

Durch die berührungslose Temperaturmessung mit höchster Präzision optimieren EXACTUS®-Pyrometer die Prozesssteuerung und steigern die Produktqualität.

80%

Im Vergleich zu herkömmlichen Optionen verlängert Fibro®-Platindraht die Lebensdauer von Thermoelementen um bis zu 80 %

1000

EXACTUS®-Pyrometer bieten schnelle Temperaturmessungen mit bis zu 1.000 Messungen pro Sekunde und ermöglichen so eine Prozessüberwachung in Echtzeit.

25 °C bis 1500 °C

Unsere Sensoren decken einen breiten Temperaturmessbereich ab und eignen sich ideal für verschiedenste Verfahren der Kristallzucht.

Genauigkeit ±1,5 °C

EXACTUS®-Pyrometer gewährleisten präzise Temperaturmessungen in Echtzeit und sichern so eine gleichbleibende Kristallqualität.

Anwendungen in der Kristallzüchtung

Halbleiter-Waferproduktion

Sicherstellung gleichmäßiger Temperaturprofile für die Herstellung hochreiner Siliziumwafer.

Herstellung optoelektronischer Kristalle

Präzise Temperaturregelung für das Wachstum von Kristallen, die in optoelektronischen Geräten verwendet werden.

Forschung und Entwicklung

Unterstützung von Versuchsaufbauten, die präzise und zuverlässige Temperaturmessungen voraussetzen.

Hochtemperaturöfen

Überwachung und Regelung der Temperaturen in Öfen, die für das Kristallwachstum verwendet werden.

Herstellung von Spezialglas

Temperaturmesslösungen für die Herstellung von Spezialglasmaterialien.

LED-Substrat-Produktion

Sicherstellung optimaler Temperaturbedingungen für das Wachstum von LED-Substraten.

Verarbeitung von Photovoltaikmaterialien

Genaue Temperaturregelung bei der Herstellung von Photovoltaikmaterialien.

Wo Pyrometer in der Kristallzüchtung eingesetzt werden

• Czochralski-Verfahren (CZ):
Pyrometer werden in der Regel so ausgerichtet, dass sie die Temperatur des wachsenden Kristalls oder der Schmelzoberfläche durch Sichtfenster in der Reaktorkammer messen. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung des Kristallziehens und der Wachstumsrate, was für die Herstellung hochwertiger Einkristalle von entscheidender Bedeutung ist

• Physikalische Dampftransportsysteme (PVT):
In PVT-Reaktoren (die für Materialien wie SiC verwendet werden) werden Pyrometer so positioniert, dass sie das Temperaturprofil der Kristallwachstumszone überwachen, häufig mit motorisierter Ausrichtung für Fernsteuerung und Echtzeitanpassungen.

• Polysilizium- und multikristallines Siliziumwachstum – Pyrometer werden zur Überwachung folgender Parameter verwendet:
→ Heiztemperatur: Sie werden so angebracht, dass sie den Heizkörper oder die Heizelemente überwachen und so die richtige thermische Umgebung gewährleisten.
→ Oberflächentemperatur der Siliziumschmelze: Fokussierung auf die Schmelze durch einen speziellen Strahlengang oder ein Sichtfenster, häufig unter Verwendung von Dual-Pyrometern (Verhältnis), um Fensterverunreinigungen und variable Emissivität auszugleichen
→ Temperatur der Flüssig-Fest-Grenzfläche: Bei fortschrittlichen Aufbauten können Pyrometer zur Verfolgung der Temperatur an der sich bewegenden Grenzfläche eingesetzt werden, was für die Steuerung der Erstarrungsfront und der Kristallqualität von entscheidender Bedeutung ist