Unsere Profil-Thermoelemente sind sowohl für vertikale als auch für horizontale Ofenkonfigurationen ausgelegt. Sie sind mit einer Vielzahl führender Ofenmarken kompatibel, darunter ASM, TEL, Kokusai, BTI/Tempress, Centrotherm, MRL, SVCS, Aviza/SVG/Thermco und Tystar. Jeder Sensor ist so konstruiert, dass er eine präzise Mehrpunkt-Temperaturprofilierung ermöglicht. Dies erlaubt eine detaillierte thermische Kartierung, die für eine gleichmäßige Waferverarbeitung und eine optimale Chipausbeute unerlässlich ist.
Mehrpunktmessung: Ermöglicht eine genaue Temperaturkartierung über die gesamte Länge des Ofens für eine hervorragende Prozesssteuerung.
Kundenspezifische und Standardausführungen: Erhältlich in verschiedenen Formen, Größen, Kalibrierungen und Materialien, um spezifischen Prozessanforderungen gerecht zu werden.
Kontaminationskontrolle: Hergestellt unter strengen Vorsichtsmaßnahmen, um Kontamination zu verhindern und die Materialverträglichkeit mit empfindlichen Halbleiterprozessen sicherzustellen.
Qualitätssicherung: Alle Produkte unterliegen strengen Qualitätskontrollen und werden nach den höchsten Industriestandards hergestellt.
