我们的成型热电偶专为立式和卧式炉配置而设计。它们与各种领先的炉子品牌兼容,包括 ASM、TEL、Kokusai、BTI/Tempress、Centrotherm、MRL、SVCS、Aviza/SVG/Thermco 和 Tystar。每个传感器的构造都能提供精确的多点温度曲线,从而绘制出详细的热图,这对于实现均匀的晶片加工和最佳设备产量是必不可少的。
多点传感:可沿着熔炉的长度进行精确的温度测绘,实现卓越的过程控制。
定制和标准设计:提供各种形状、尺寸、定标和材料,以满足特定的工艺要求。
污染控制:在制造过程中采取严格的预防措施,防止污染并确保材料与敏感的半导体工艺兼容。
质量保证:所有产品均经过严格的质量检查,按照行业最高标准制造