半导体型材热电偶

我们的异型热电偶通过提供多点、高精度温度监测、坚固的结构和定制解决方案脱颖而出,与标准替代产品相比,具有卓越的工艺洞察力和长期价值。

专为半导体扩散炉设计的温度传感器,提供多点(Profile)和单点(针式 Spike)两种测温配置。这些热电偶采用超高纯度材料制造,能够提供精准、可靠的温度读数,同时最大限度降低污染风险。可根据不同炉型进行定制,帮助保持晶圆加工过程的稳定性,支持高质量半导体制造。

  • 单个探头具有多个传感位置,可绘制详细的温度分布图

  • 量身定制的设计符合您的工艺要求

  • 采用优质材料,结构经久耐用

  • 经过认证的校准,读数可靠、准确

主要特点

我们的成型热电偶专为立式和卧式炉配置而设计。它们与各种领先的炉子品牌兼容,包括 ASM、TEL、Kokusai、BTI/Tempress、Centrotherm、MRL、SVCS、Aviza/SVG/Thermco 和 Tystar。每个传感器的构造都能提供精确的多点温度曲线,从而绘制出详细的热图,这对于实现均匀的晶片加工和最佳设备产量是必不可少的。

多点传感:可沿着熔炉的长度进行精确的温度测绘,实现卓越的过程控制。
定制和标准设计:提供各种形状、尺寸、定标和材料,以满足特定的工艺要求。
污染控制:在制造过程中采取严格的预防措施,防止污染并确保材料与敏感的半导体工艺兼容。
质量保证:所有产品均经过严格的质量检查,按照行业最高标准制造

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