针式热电偶

常用于半导体制造和其他热加工过程中的扩散炉,具有以下特点:
坚固耐用,适用于苛刻环境
在污染可控的环境中制造
定制选项适合各种设备和应用

斯派克热电偶的独特功能

高精度温度测量
斯派克热电偶专为需要精确温度控制的应用而设计。其精确的传感能力使其成为半导体制造、扩散炉和其他高温工艺的首选。

多种材料选择
这些热电偶有多种类型,包括 Fibro® 金属(如 S 型和 R 型)和贵金属(如 R 型、S 型和 B 型)。这样,无论您是需要耐高温、耐化学腐蚀,还是需要长期稳定性,都可以选择最适合您工艺的热电偶。

可定制的结构
斯派克热电偶具有很强的适应性。您可以指定陶瓷护套直径、传感结数量(单、双或三)、尖端配置(如楔形、嵌入式或外露式)以及电气终端类型(裸线、插头或接线片)。这种灵活性可确保完美满足您的设备和工艺要求。

冗余和漂移监测
双尖峰热电偶可配备两个独立电路,以提高可靠性。即使一个电路发生故障,这种冗余也能确保连续运行。此外,您还可以在每个电路中使用不同的校准线,以监控传感器漂移,并根据实际性能数据而不是固定的时间间隔安排维护。

广泛的应用兼容性
这些热电偶专为立式和卧式炉设置而设计,可根据各种设备品牌和型号进行定制。其坚固耐用的设计使其适用于各种行业,包括半导体、光伏和 LED。

卓越的耐用性
斯派克热电偶由高级材料制成,包括专有的 Fibro® 铂合金和高级陶瓷,可承受极端温度和恶劣的工艺环境。因此使用寿命更长,维护需求更低。

快速响应时间
斯派克热电偶的流线型结构使其能够对温度变化做出快速反应。这种快速反应对于需要严格热控制和即时反馈的工艺至关重要。

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Pamela Celi
Account Manager, Semiconductor, Americas